Tiêu đề Chuong 6. Tiep xuc kim loai-ban dan.pdf ✅

CHƯƠNG 6. TIẾP XÚC KIM LOẠI-BÁN DẪN Metal-Semiconductor contact Giảng viên: Nguyễn Đức Cường Trường Đại học Công nghệ - ĐHQGHN Email: [email protected] Ngày 22 tháng 10 năm 2024 Giảng viên: Nguyễn Đức Cường (VNU-UET) CHƯƠNG 6. TIẾP XÚC KIM LOẠI-BÁN DẪN Ngày 22 tháng 10 năm 2024 1 / 24
NỘI DUNG 1 CHƯƠNG 6. TIẾP XÚC KIM LOẠI-BÁN DẪN Giảng viên: Nguyễn Đức Cường (VNU-UET) CHƯƠNG 6. TIẾP XÚC KIM LOẠI-BÁN DẪN Ngày 22 tháng 10 năm 2024 2 / 24
CHƯƠNG 6. TIẾP XÚC KIM LOẠI-BÁN DẪN (Metal-Semiconductor contact) Giảng viên: Nguyễn Đức Cường (VNU-UET) CHƯƠNG 6. TIẾP XÚC KIM LOẠI-BÁN DẪN Ngày 22 tháng 10 năm 2024 3 / 24
Phân loại tiếp xúc kim loại-bán dẫn Điều gì sẽ xảy ra khi một kim loại và một bán dẫn tiếp xúc với nhau? Trong thực tế, điều này thường được thực hiện bằng phương pháp lắng đọng pha hơi vật lý (physical vapor deposition, PVD) (tức làm ngưng tụ từ pha hơi thành pha rắn) kim loại lên bề mặt của một tinh thể bán dẫn trong chân không. Các phương pháp PVD bao gồm bốc bay nhiệt, bốc bay chùm tia điện tử, phún xạ, lắng đọng bằng laser xung, v.v.. Tùy thuộc vào độ chênh lệch công thoát giữa kim loại và bán dẫn, chúng ta sẽ có 2 loại tiếp xúc: Schottky và Ohmic. Bảng: Bản chất điện của các tiếp xúc kim loại-bán dẫn lý tưởng So sánh công thoát Bán dẫn loại n Bán dẫn loại p Φm > Φs Schottky (chỉnh lưu) Ohmic (không chỉnh lưu) Φm < Φs Ohmic (không chỉnh lưu) Schottky (chỉnh lưu) Giảng viên: Nguyễn Đức Cường (VNU-UET) CHƯƠNG 6. TIẾP XÚC KIM LOẠI-BÁN DẪN Ngày 22 tháng 10 năm 2024 4 / 24